大连理工大学主页平台管理系统张钰如--中文主页-- Modulations of the plasma uniformity by low frequency sources in a large-area dual frequency inductively coupled plasma based on fluid simulations

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学科技园大厦C座 519

电子邮箱： yrzhang@dlut.edu.cn

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Modulations of the plasma uniformity by low frequency sources in a large-area dual frequency inductively coupled plasma based on fluid simulations

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发表时间： 2022-10-07

发表刊物： PHYSICS OF PLASMAS

所属单位：后勤处（后勤党委）

卷号： 22

期号： 5

ISSN号： 1070-664X

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