大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Modulation of the plasma uniformity by coil and dielectric window structures in an inductively coupled plasma 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Modulation of the plasma uniformity by coil and dielectric window structures in an inductively coupled plasma

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发布时间：2024-10-10

发表时间：2022-10-07

发表刊物：PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY

所属单位：后勤处（后勤党委）

卷号：23

期号：9

ISSN号：1009-0630

关键字："fluid simulation; gradient coil; vertical coil; stepped dielectric window; plasma uniformity"