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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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Modeling and experimental investigation of the plasma uniformity in CF4/O-2 capacitively coupled plasmas, operating in single frequency and dual frequency regime
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发表时间：2022-10-07
发表刊物：JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A
所属单位：物理学院
卷号：33
期号：2
ISSN号：0734-2101