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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别： 女

毕业院校： 大连理工大学

学位： 博士

所在单位： 物理学院

学科： 等离子体物理

办公地点： 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱： yrzhang@dlut.edu.cn

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Modeling and experimental investigation of the plasma uniformity in CF4/O-2 capacitively coupled plasmas, operating in single frequency and dual frequency regime

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发表时间： 2022-10-07

发表刊物： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A

所属单位： 物理学院

卷号： 33

期号： 2

ISSN号： 0734-2101

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