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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别:女

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:物理学院

学科:等离子体物理

办公地点:大连理工大学 三束4号楼309

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Modeling and experimental investigation of the plasma uniformity in CF4/O2

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发布时间:2024-10-10

发表时间:2022-10-07

发表刊物:JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A

所属单位:物理学院

卷号:33

期号:2

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