大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Effects of external parameters on plasma characteristics and uniformity in a dual cylindrical inductively coupled plasma 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学科技园大厦C座 519

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Effects of external parameters on plasma characteristics and uniformity in a dual cylindrical inductively coupled plasma

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发布时间：2025-09-15

发表时间：2024-11-12

发表刊物：PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：26

期号：12

ISSN号：1009-0630

关键字：AR; ARGON; AR/O-2; DENSITY; ION FLUX; MODEL; O-2; OXYGEN; REMOTE PLASMA