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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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Effects of external parameters on plasma characteristics and uniformity in a dual cylindrical inductively coupled plasma
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论文类型：期刊论文
论文编号：403512
发表时间：2024-12-01
发表刊物：PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY
卷号：26
期号：12
ISSN号：1009-0630
关键字：AR; ARGON; AR/O-2; DENSITY; ION FLUX; MODEL; O-2; OXYGEN; REMOTE PLASMA