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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别： 女

毕业院校： 大连理工大学

学位： 博士

所在单位： 物理学院

学科： 等离子体物理

办公地点： 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱： yrzhang@dlut.edu.cn

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Effects of external parameters on plasma characteristics and uniformity in a dual cylindrical inductively coupled plasma

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发表时间： 2024-11-12

发表刊物： PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号： 26

期号： 12

ISSN号： 1009-0630

关键字： AR; ARGON; AR/O-2; DENSITY; ION FLUX; MODEL; O-2; OXYGEN; REMOTE PLASMA

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