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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学 三束4号楼309

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Three-dimensional fluid simulation of a planar coil inductively coupled argon plasma source for semiconductor processes

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发布时间：2025-09-15

论文类型：期刊论文

论文编号：411646

发表时间：2024-11-05

发表刊物：ACTA PHYSICA SINICA

卷号：73

期号：21

ISSN号：1000-3290

CN号：11-1958/O4

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