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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学 科技园大厦C座 519

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面向半导体工艺的平面线圈感性耦合氩等离子体源的三维流体模拟研究

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发布时间：2025-09-15

发表时间：2024-11-15

发表刊物：物理学报

ISSN号：1000-3290

关键字：coil structure; Inductively coupled plasma; plasma uniformity; Three-dimensional fluid simulation

CN号：11-1958/O4

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