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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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面向半导体工艺的平面线圈感性耦合氩等离子体源的三维流体模拟研究
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论文类型：期刊论文
论文编号：411646
发表时间：2024-11-15
发表刊物：物理学报
卷号：73
期号：21
页面范围：130-139
ISSN号：1000-3290
关键字：三维流体模拟; 感性耦合等离子体; 等离子体均匀性; 线圈形状
CN号：11-1958/O4