大连理工大学主页平台管理系统秦福文 Passivation of SiO2/4H-SiC interface defects via electron cyclotron resonance hydrogen-nitrogen mixed plasma pretreatment for SiC surface combined with post-oxidation annealing 中文主页

秦福文

副教授硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：凝聚态物理
办公地点：科技园c座303-2
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Passivation of SiO2/4H-SiC interface defects via electron cyclotron resonance hydrogen-nitrogen mixed plasma pretreatment for SiC surface combined with post-oxidation annealing

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发布时间：2022-10-08

发表时间：2022-10-07

发表刊物：APPLIED SURFACE SCIENCE

卷号：364

页面范围：769-774

ISSN号：0169-4332

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